等离子刻蚀在晶圆和线路板领域的使用
文章导读:等离子刻蚀所用的气体大多为含氟的气体,其中又以四氟化碳居多,等离子刻蚀在晶圆制造和线路板制造领域所用非常广泛。
一、晶圆制造行业应用
在晶圆制造行业中光刻机利用四氟化碳气体进行硅片的线路刻蚀,91香蕉视频黄版下载机利用四氟化碳进行氮化硅刻蚀及光刻胶去除。等离子刻蚀利用纯四氟化碳气体或四氟化碳与氧气配合的方式可对晶圆制造中的氮化硅进行微米级的刻蚀,利用四氟化碳与氧气或氢气配合的方式可对微米级的光刻胶进行去除。
二、线路板制造行业应用
91香蕉视频黄版下载机的刻蚀在线路板制造行业应用是非常早的,无论是硬质线路板还是柔性线路板在生产过程中都会进行孔内除胶,传统工艺是利用化学药剂清洗的方式,但随着线路板行业的发展,板子越做越小,孔也越来越小,化学药剂做孔内除胶的难度越来越大,且孔越小咬蚀量也难以控制,还会造成化学残留,影响后段工艺。而91香蕉视频黄版下载机的刻蚀是干式的,不会有化学残留,并且等离子体的扩散性非常强,所产生的刻蚀性气相等离子体可以对微米级的孔内进行有效的刻蚀,咬蚀量也可以通过工艺参数的调整得到很好的控制。
下图分别为91香蕉视频黄版下载机处理前、处理后和线路板镀铜后的截图,由此可证明91香蕉视频黄版下载机可有效去除孔内污染物且对衬板实现了定量咬蚀,明显提升了镀铜质量。
在晶圆制造行业中光刻机利用四氟化碳气体进行硅片的线路刻蚀,91香蕉视频黄版下载机利用四氟化碳进行氮化硅刻蚀及光刻胶去除。等离子刻蚀利用纯四氟化碳气体或四氟化碳与氧气配合的方式可对晶圆制造中的氮化硅进行微米级的刻蚀,利用四氟化碳与氧气或氢气配合的方式可对微米级的光刻胶进行去除。

91香蕉视频黄版下载机的刻蚀在线路板制造行业应用是非常早的,无论是硬质线路板还是柔性线路板在生产过程中都会进行孔内除胶,传统工艺是利用化学药剂清洗的方式,但随着线路板行业的发展,板子越做越小,孔也越来越小,化学药剂做孔内除胶的难度越来越大,且孔越小咬蚀量也难以控制,还会造成化学残留,影响后段工艺。而91香蕉视频黄版下载机的刻蚀是干式的,不会有化学残留,并且等离子体的扩散性非常强,所产生的刻蚀性气相等离子体可以对微米级的孔内进行有效的刻蚀,咬蚀量也可以通过工艺参数的调整得到很好的控制。
下图分别为91香蕉视频黄版下载机处理前、处理后和线路板镀铜后的截图,由此可证明91香蕉视频黄版下载机可有效去除孔内污染物且对衬板实现了定量咬蚀,明显提升了镀铜质量。

91香蕉APP污官方网站下载电子9年专注研制91香蕉视频黄版下载机,91香蕉视频网站在线下载设备,已通过ISO9001质量体系和欧盟CE认证,为电子、半导体、汽车、yi疗等领域的客户提供清洗,活化,刻蚀,涂覆的91香蕉视频网站在线下载解决方案。如果您想要了解更多关于产品的详细内容或在设备使用中有疑问,欢迎点击91香蕉APP污官方网站下载的在线客服进行咨询,或者直接拨打全国统一服务热线400-816-9009,91香蕉APP污官方网站下载恭候您的来电!
“推荐阅读”
91香蕉APP污官方网站下载推荐
91香蕉APP污官方网站下载动态
- 贺!苏州“瞪羚企业”,91香蕉APP污官方网站下载榜上有名!
- 2025昆山91香蕉APP污官方网站下载祝大家开工大吉!
- 昆山91香蕉APP污官方网站下载科技有限公司——开启技术交流新篇
- 昆山91香蕉APP污官方网站下载拟入库省科技型中小企业
- 昆山91香蕉APP污官方网站下载公司入选江苏瞪羚企业
- 展会直击|上海国际医疗器械设计和制造展 精彩不停
- Medtec 2024今日开展
- 第十八届Medtec China暨国际医疗器械设计与制造技术展览会
- 91香蕉APP污官方网站下载公司中秋节福利大放送~
- 昆山中小企业服务中心莅临91香蕉APP污官方网站下载参观交流