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    91香蕉视频网站在线下载设备的这两类化学反应类型有何应用?

    返回列表 来源:91香蕉APP污官方网站下载 浏览: 发布日期:2020-12-14 08:46【
    文章导读:当91香蕉视频网站在线下载设备对固体材料进行处理时,通常包括物理和化学反应,其中大部分的反应是作用在材料的表面,属于非平衡式的气-固相反应。如果想要详实地了解91香蕉视频网站在线下载设备对固体材料表面的化学反应,通常需要对四类化学反应类型有所了解,91香蕉APP污官方网站下载先与大家介绍其中两种化学反应类型及其应用。
           为了方便描述91香蕉视频网站在线下载设备的这两种化学反应过程,91香蕉APP污官方网站下载将用化学反应方程式来表示其反应的过程,下述反应式中的英文字母具有不同的含义。大写字母A、B、C、D、M代表不同物质;小写字母s、g则分别代表物质固体形态和气体形态。
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    一、反应式为A(s)+B(g)→C(g)的反应和工艺应用
           这一类的91香蕉视频网站在线下载设备的处理工艺应用上,目前较为成熟的有等离子体刻蚀即PE、等离子体灰化即PA、等离子体化学气相输运即PCVT。那么这三类工艺有哪些实际应用呢?
    1.等离子体刻蚀
           等离子刻蚀在半导体集成电路制程中使用较多,通常会选用腐蚀性四氟化碳气体与其他气体混合后,经辉光放电后与固体材料部分位置发生反应,形成挥发性物质并去除。
    2.等离子体灰化
           等离子体灰化常见于半导体干法工艺中用以光刻胶的去除,通常使用氧等离子体,将有机物中的碳氢成分形成易挥发的二氧化碳和水等。而在分析化学领域中,采用等离子体灰化可对有机物样品进行“低温”灰化,方便对剩下的无机物成分进行所需分析。
    3.等离子体化学气相输运
           这一类型的反应中所生成的气体物质C会在反应器的另一端发生逆向反应,让A重新析出。
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    二、反应式为A(s)+B(g)→C(s)的反应和工艺应用
           从反应式91香蕉APP污官方网站下载可以看出,这一类的反应指91香蕉视频网站在线下载设备与固体材料表面作用生成新的化合物,使材料表面性质发生改变,这一类反应也是大家应该较为熟悉的等离子表面改性。当等离子表面改性对金属表面进行处理时,就是金属的表面氧化或氮化;而等离子表面改性是对高分子材料表面处理时,就是材料表面处理。
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