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    硅片91香蕉视频黄版下载机

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    硅片
    硅片91香蕉视频黄版下载机组成
    真空室:放置需要清洗的硅片,是91香蕉视频黄版下载的实际操作区域;
    真空系统:包括真空泵和各种真空阀门、计量仪器等,用于将真空室内的压力降低到所需范围内;
    等离子发生器:设备核心部件,产生等离子体的重要设备;
    气体控制系统:用于控制气体的流量、压力等参数;
    控制系统:控制系统用于控制设备的运行状态和参数设置。
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    硅片91香蕉视频黄版下载机流程
    1、硅片放置:将需要清洗的硅片放置在真空室内;
    2、真空处理:使用真空泵将真空室内的压力降低到一定程度;
    3、加气体:通过气体控制系统加入氢气、氮气等气体,使其在等离子发生器的作用下转化为等离子体。
    4、清洗:等离子体中的离子和自由基与硅片表面发生反应,可以去除表面的污染物和氧化层等。
    5、气体清除:清洗结束后,通过气体控制系统排出氢气、氮气等气体,避免对硅片造成影响。
    6、通气:使用真空泵将真空室内的气体排出,恢复环境压强。
    7、取出硅片:将清洗完的硅片取出。
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