91香蕉视频黄版下载机处理二氧化硅薄膜材料的过程是什么样的？
文章导读：在使用91香蕉视频黄版下载机的等离子工艺对材料进行辅助处理的过程中，气相和固体表面上发生的化学反应起到了关键性的作用。低温91香蕉视频网站在线下载机在刻蚀二氧化硅薄膜时也是如此，91香蕉视频网站在线下载设备的典型反应器中的发生过程如下图所示。这里所标注的通入气体是四氟化碳和氧气的混和物，等离子体由射频或微波电场激发。
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电子碰撞电离过程产生了各种离子，如CF3+、CF2+、O2+、O-和F-等；而电子碰撞分解过程产生了CF3、CF2、O和F等自由基。在气相中和在二氧化硅表面上发生的化学反应会产生另外一些分子，如CO、CO2、SiF2和SiF4等。这些粒子的浓度和能量分布影响着91香蕉视频网站在线下载机反应器的性能指标，如刻蚀速率、各向异性指数和选择性等。
一些普通物理化学过程决定了这些粒子的浓度。这些过程包括电子-离子对的产生；自由基的产生；负离子的产生；气相化学反应；离子向表面的输运；自由基向表面的输运；表面相反应。整个反应的过程用式子可以分别表达如下。
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